Wie wird Polysilicium geschmolzen?
Polysilicium ist ein sehr wichtiges Material mit einer Vielzahl von Anwendungen in der Optoelektronik, Halbleitern, Solarenergie und anderen Bereichen.Das Schmelzverfahren für Polysilicium spielt eine entscheidende Rolle bei Qualität und LeistungIm Folgenden wird der Polysiliciumschmelzprozeß beschrieben.
Das Hauptrohmaterial für Polysilicium ist Siliziumdioxid (SiO2). Zuerst wird Siliziumdioxid einer Reduktionsreaktion unterzogen, um es in rohes Silizium umzuwandeln.Siliziumdioxid und Kohlenstoffpulver werden in einem Hochtemperaturofen reduziert, um Oxide aus dem Siliziumdioxid zu entfernen.Die Verarbeitung erfolgt dann weiter, um hochreines polykristallines Silizium zu erhalten.
Polykristallines Silizium wird typischerweise entweder durch Lichtbogen- oder Dampfphasenschmelzen geschmolzen.Ein Gerät, das mit Strom hochleitende Materialien zu hohen Temperaturen erhitztWährend des Bogenschmelzprozesses wird das Rohsilizium durch Erhitzen geschmolzen, dann allmählich abgekühlt und zu polykristallinen Siliziumkristallen verfestigt.Während der Kristallisierung, können Verunreinigungen in den Kristallen durch Rühren und Kristallziehen minimiert werden, was zu hochreinem polykristallinen Silizium führt.
Die Dampfphasenschmelze von polykristallinem Silizium beinhaltet die Reaktion eines Siliziumhaltigen Gases (in der Regel Siliziumchlorid SiCl4) mit Wasserstoff bei hohen Temperaturen zur Bildung von Silizium.Durch die Steuerung der Temperatur und des Gasstroms, werden die Siliziumstücke allmählich auf einem Substrat abgelagert und bilden schließlich einen einzigen polykristallinen Siliziumkristall.
Eine andere Methode besteht darin, Polysilicium mit einem Lösungsverfahren zu schmelzen.mit einer chemischen Reaktion bei hoher Temperatur zur Herstellung von Polysilicium.
Während des Polysiliciumschmelzprozesses sorgfältige Kontrolle der Reaktionstemperatur, Atmosphäre, Reaktionszeit, Reaktionsgeschwindigkeit,und entsprechende Prozessparameter ist entscheidend, um sicherzustellen, dass das resultierende Polysilicium allen Anforderungen und technischen Spezifikationen entsprichtAußerdem ist die Wartung und Pflege der Produktionsanlagen unerlässlich, um die Stabilität des Prozesses und die einheitlichen Prozessparameter zu gewährleisten.
Insgesamt ist der Polysiliciumschmelzprozess ein komplexes System mit integrierter Energie-, Material- und Prozesssteuerung.Die umfassende Optimierung von Ausrüstung und Technologie ist unerlässlich, um qualitativ hochwertige, hochreine Polysiliciumprodukte.